薛其坤， 材料物理专家。中国科学院物理研究所研究员、清华大学教授，副校长。1963年12月19日生于山东蒙阴。1984年毕业于山东大学光学系，1990年、1994年先后获中国科学院物理研究所硕士、博士学位。2005年当选为中国科学院院士。 长期从事超薄膜材料的制备、表征及其物理性能研究。开展了第二代半导体薄膜GaAs、InAs/GaAs量子阱（点）、宽禁带半导体GaN和ZnO薄膜生长动力学研究,发展完善了III-V族化合物半导体表